施設紹介
各実験室の画像をクリックすると説明が表示されます。
クリーンルーム
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クリーンルームは外部からの粉塵の流入を防止された空間で，ナノサイエ
ンス研究における素子作成・観察のために不可欠なワークスペースです．層流方式によりＪＩＳクラス５のクリーンレベルを保持し、湿度および温度を一定に保
持しています．電子ビーム描画装置、２台の走査型電子顕微鏡、スパッターや蒸着機、紫外線露光装置など大型装置をはじめ、ワイヤーボンダー、プローバー、
スクライバー、段差計なども導入されています。これらの装置は常に調整され最良の状態で利用することができます。
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ケミカルルーム
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ケミカルルームは二つの独立した実験室から成り立っております。
ケミカルルーム１はドラフトチャンバー２機を備え、主に化学系実験への利用を目的としています。ケミカルルーム２は生物系の試料作成や観察等のため、イン
キュベーター。オートクレープなど細胞培養の為の設備や蛍光顕微鏡等が備えられています。両室とも隣接するクリーンルームと直接試料の受け渡しができるパ
スボックスを備えており、クリーンルームで作製した試料を室外に持ち出すことなくケミカルルームに移動できます。
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低温実験室
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低温実験室は防振、電磁シールド、電位安定などの措置が施され、さまざ
まな環境で極・超低温での実験を遂行できるようにデザインされています。現在７台の希釈冷凍機をはじめとする大型冷凍機が設置され、１８テスラにいたるま
での高磁場の実験、また 低温STMの研究が行われています。現在、河野低温物理研究室、石橋極微デバイス研究室、高木磁性研究室の３研究室が利用し、半
導体量子ドット中のスピンの効果、カーボンナノチューブを用いた電子デバイスの開発、強相関物質の表面の電子状態の研究が進められています。
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一般実験室・極微細構造実験室・電子顕微鏡室・学際ホール
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１階の各実験室（極微細実験室・電子顕微鏡室、計１３実験室）には電磁
シールドが施され、除振床が整備されています。２階の実験室（一般実験室、５実験室）は通常の実験室です。
１階には学際ホールがあり、施設利用者が自由に討論や勉強を目的として利用できます
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