研究紹介

光量子工学研究領域

理研-SIOM連携研究ユニット

ユニットリーダー 杉岡 幸次 (D.Eng.)
杉岡 幸次 (D.Eng.)

今日、レーザーは材料加工や材料創製分野においてなくてはならないツールであり、世の中で幅広く利用されています。当研究ユニットは、中国科学院上海光学精密機械研究所との連携により、環境負荷が少なく、高品質・高効率の材料加工を実現する先端的なレーザープロセッシング技術の研究・開発を行うことを目指しています。特にピーク強度がきわめて高い超短パルス光を発生するフェムト秒レーザーやピコ秒レーザーを用いることにより、従来の手法では不可能であった材料加工を試みています。これにより3次元マイクロ・ナノ加工技術や高アスペクト比加工技術、新物質創製技術を開発し、バイオチップ、高機能光・電子デバイス等の作製への展開を図っています。

研究主分野

工学

研究関連分野

複合領域 / 総合理工

キーワード

  • レーザー加工
  • マイクロ・ナノ加工
  • 3次元加工
  • バイオチップ

主要論文

  1. Xu J., Kawano H., Liu W., Hanada Y., Lu P., Miyawaki A., Midorikawa K., and Sugioka K.:
    "Controllable alignment of elongated microorganisms in a 3D microspace using electrofluidic devices manufactured by hybrid femtosecond laser microfabrication"
    Microsystems Nanoengin. 3,16078 (2017).
  2. He F., Yu J., Tan Y., Chu W., Zhou C., Cheng Y., and Sugioka K.:
    "Tailoring femtosecond 1.5-μm Bessel beams for manufacturing high-aspect-ratio through-silicon vias"
    Sci. Rep. 7, 40785 (2017).
  3. Sugioka K.:
    "Progress in ultrafast laser processing and future prospects"
    Nanophotonics 5, 17-37 (2016).
  4. Wu, D., Xu, J., Niu, L., Wu, S., Midorikawa, K,. and Sugioka, K.:
    "In-channel integration of designable microoptical devices using flat scaffold-supported femtosecond-laser microfabrication for coupling-free optofluidic cell counting"
    Light Sci. Appl. 4, e228 (2015).
  5. Wu, D., Wu, S., Xu, J., Niu, L., Midorikawa, K., and Sugioka, K.:
    "Hybrid femtosecond laser microfabrication to achieve true 3D glass/polymer composite biochips with multiscale features and high performance: the concept of ship-in-a-bottle biochip"
    Laser Photon. Rev. 8, 458-467 (2014).
  6. Sugioka, K., and Cheng, Y.,
    "Ultrafast lasers - reliable tools for advanced materials processing"
    Light Sci. Appl. 3, e149 (2014).
  7. Sugioka K., and Cheng, Y.,
    "Femtosecond laser three-dimensional micro- and nanofabrication"
    Appl. Phys. Rev. 1, 041303 (2014).
  8. Xu, J., Wu, D., Hanada, Y., Chen, C., Wu, S., Cheng, Y., Sugioka, K., and Midorikawa, K.:
    "Electrofluidics fabricated by space-selective metallization in glass microfluidic structures using femtosecond laser direct writing"
    Lab Chip 13, 4608 (2013).
  9. Sugioka, K. and Cheng, Y.:
    "Femtosecond laser processing for optofluidic fabrication"
    Lab Chip 12, 3576 (2012).
  10. Sugioka, K., Hanada, Y., and Midorikawa, K.:
    "Three-dimensional femtosecond laser micromachining of photosensitive glass for biomicrochips"
    Laser Photon. Rev. 3, 386 (2010).

メンバーリスト

主宰者

杉岡 幸次
ユニットリーダー

メンバー

ZHANG Dongshi
特別研究員
SERIEN Daniela
基礎科学特別研究員
花田 修賢
客員研究員
中嶋 聖介
客員研究員
SIMA Felix
客員研究員
LIAO Yang
客員研究員