発明者

小林 峰（理研：石橋極微デバイス工学研究室）、上田 一之（TF技研）

概要

軽元素（水素・リチウム）の分布状況を知ることのできる装置です。例えば、全固体リチウムイオン電池の場合、充放電中のリチウム分布状況を実時間・実空間で、動的にその場分析することができます。入射イオンが中エネルギーヘリウムイオン（He⁺）であること及び電子遷移誘起脱離が脱離のメカニズムであることから、従来のSIMS（二次イオン質量分析法）に比べ低損傷、高感度、高空間分解能です。

利点

• 軽元素分析が可能
• 軽元素の分布状況のマッピング（可視化）が可能
• ナノメートルの位置精度で分析が可能（ナノメートル空間分解能）

期待される展開

• 脱離イオン・脱離中性粒子の質量分析するシステムの構築
• 質量分析した脱離収量をマッピング（可視化）するハードウエア・ソフトウエアの構築
• 脱離中性粒子のポストイオン化機構の構築

文献情報

• 1.特許第5553308号

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