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2024年7月26日

宇都宮大学
東京大学大学院工学系研究科
九州大学
理化学研究所
パデュー大学極端環境物質センター
広島大学

EUV光源を高効率化するためのマルチレーザー照射法

-先端半導体向けリソグラフィー用EUV光源の駆動レーザー負荷低減へ-

宇都宮大学学術院(工学部 基盤工学科)の東口 武史 教授、森田 大樹 助教、地域創生科学研究科 博士前期課程2年の杉浦 使、地域創生科学研究科 博士前期課程1年の矢澤 隼斗、東京大学大学院工学系研究科原子力専攻の坂上 和之 准教授、九州大学 大学院システム情報科学研究院 電気システム工学部門の中村 大輔 准教授、理化学研究所 光量子工学研究センターの高橋 栄治 チームリーダー、米国パデュー大学 極端環境物質センターの砂原 淳 研究員、アイルランド国立大学 ダブリン校のO’SULLIVAN Gerry 名誉教授、広島大学 大学院先進理工系科学研究科の難波 愼一 教授の共同研究グループは、極端紫外 [Extreme ultraviolet(EUV)] 光源を高効率化するためのマルチレーザービーム照射法を提案し、EUV光源を高効率化できることを実験的に実証しました。この成果は、現在稼働している駆動レーザー装置の増幅器への負荷や今後の固体レーザーの媒質損傷を回避できるものであり、将来の駆動レーザー装置の大幅な小型化・低電力化につながるものです。

詳細は宇都宮大学のホームページをご覧ください。

報道担当

理化学研究所 広報室 報道担当
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