理研シンポジウム：第53回マイクロファブリケーション研究の最新動向

各種マイクロデバイスである機能性構造体の製造には、一層の超精密化・超平滑化・超微細化を極めた極限加工法の確立が不可欠です。

オプトエレクトロニクス、メカトロニクス分野のニーズからは、ホログラム光学素子、立体構造を持つ半導体デバイス、全体スケールが小さく複雑な形状を持つマイクロレンズ、光ファイバ用光学部品や各種マイクロパーツ/コンポーネントなどがあります。

光学素子の極限加工技術は、X線ミラーやレーザー光レンズ・ミラー、ひいては中性子光学素子の研究開発分野において、広範に物理・工学の研究分野との接点を持ち、また表面計測用ツールやメカトロニクス用コンポーネントの製作については、広く先端的研究ツールとして強いニーズがあります。

マイクロコンポーネントは、生物・化学系、医学系の研究分野との接点において、細胞マニピュレーター、顕微受精用ツール、遺伝子操作ツール、蛋白質反応試験用ツールなどの開発へとつながり、最先端の研究領域につながっています。

このように、マイクロファブリケーションは多くの科学研究・工業/産業分野において、次世代の加工技術として多くの注目を集め、さらには進歩の著しいナノサイエンス/テクノロジーの研究開発にもつながりつつあります。

本シンポジウムでは、当室及び関連機関が行っているマイクロ・メカニカルファブリケーション関連研究に関する最新の開発/実用事例の紹介を中心とし、さらには各分野でご活躍の講師をお招きして、最先端の研究・事例紹介を含め、議論します。