放射光科学研究センター 超高速プロセス計測・解析チーム

SPring-8の高輝度かつ高エネルギーの放射光を利用して物質・材料・デバイスの加工・変形・破壊プロセスを超高速かつナノスケールで計測するため、要素技術(X線光学系、検出系等) の開発と新たな手法の開拓を行いながら、統合的な計測システムを構築します。さらに､産学官と幅広く連携しながら、本システムを活用した実解析を推進し、ものづくりの革新に貢献します。

研究主分野

• 工学

研究関連分野

• 総合理工
• 生産工学
• 材料加工

キーワード

• 高速X線撮像
• 加工現象解析
• 機械加工
• 特殊加工
• 工作機械

主要論文

• 1. G. Yamaguchi, H. Motoyama, S. Owada, Y. Kubota, S. Egawa, T. Kume, Y. Takeo, M. Yabashi, H. Mimura.:
  "Copper electroforming replication process for soft x-ray mirrors"
  Review of Scientific Instruments, 92, 123106 (2021).
• 2. Y. Takeo, A. Suzuki, H. Motoyama, Y. Takei, T. Kume, Y. Matsuzawa, Y. Senba, H. Kishimoto, H. Ohashi, and H. Mimura.:
  "Soft x-ray nanobeam formed by an ellipsoidal mirror"
  Applied Physics Letters, 116, 121102 (2020).
• 3. Y. Takeo, H. Motoyama, T. Shimamura, T. Kimura, T. Kume, Y. Matsuzawa, T Saito, Y. Imamura, H. Miyashita, K. Hiraguri, H. Hashizume, Y. Senba, H. Kishimoto, H. Ohashi, and H. Mimura.:
  "A highly efficient nanofocusing system for soft x rays"
  Appl. Phys. Lett. 117, 151104 (2020).
• 4. S. Egawa, S. Owada, H. Motoyama, G. Yamaguchi, Y. Matsuzawa, T. Kume, Y. Kubota, K. Tono, M. Yabashi, H. Ohashi, and H. Mimura.:
  "Full-field microscope with twin Wolter mirrors for soft X-ray free-electron lasers"
  Opt. Express 27(23), 33889-33897 (2019).
• 5.H. Motoyama, S. Owada, G. Yamaguchi, T. Kume, S. Egawa, K. Tono, Y. Inubushi, T. Koyama, M. Yabashi, H. Ohashi, and H. Mimura.:
  "Intense sub-micron focusing of soft x-ray free-electron laser beyond 10^16 W/cm^2 with an ellipsoidal mirror"
  J. Synchrotron Radiat., 26, 1406-1411 (2019).
• 6. H. Mimura, Y. Takei, T. Kume, Y. Takeo, H. Motoyama, S. Egawa, Y. Matsuzawa, G. Yamaguchi, Y. Senba, H. Kishimoto, H. Ohashi.:
  "Fabrication of a precise ellipsoidal mirror for soft X-ray nanofocusing"
  Review of Scientific Instruments, 89, 093104 (2018).
• 7. H. Mimura,　H. Yumoto, S. Matsuyama, T. Koyama,　K. Tono, Y. Inubushi, T. Togashi, T. Sato, J. Kim, R. Fukui, Y. Sano, M. Yabashi, H. Ohashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi.:
  "Generation of 10²⁰ Wcm-2 hard X-ray laser pulses with two stage reflective focusing system"
  Nature communications 5 3539, doi:10.1038/ncomms4539 (2014).
• 8. H. Mimura, S. Handa, T. Kimura, H. Yumoto, D. Yamakawa, H. Yokoyama, S. Matsuyama, K. Inagaki, K. Yamamura, Y. Sano, K. Tamasaku, Y. Nishino, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi.:
  "Breaking the 10nm barrier in hard-X-ray focusing"
  Nature Physics, 6 (2), 122-125, (2010).
• 9. H. Mimura, H. Yumoto, S. Matsuyama, Y. Sano, K. Yamamura, Y. Mori, M. Yabashi, Y. Nishino, K. Tamasaku, T. Ishikawa, K. Yamauchi.:
  "Efficient focusing of hard x rays to 25 nm by a total reflection mirror"
  Applied Physics Letters, 90, 051903-1-3, (2007).
• 10. H. Mimura, K. Yamauchi, K. Yamamura, A. Kubota, S. Matsuyama, Y. Sano, K. Ueno, K. Endo, Y. Nishino, K. Tamasaku, M. Yabashi, T. Ishikawa.:
  "Image quality improvement in a hard X-ray projection microscope using total reflection mirror optics"
  Journal of Synchrotron Radiation, 11, 343-346 (2004).

関連リンク

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