放射光科学研究センター 超高速プロセス計測・解析チーム
チームリーダー 三村 秀和(Ph.D.)
研究概要

SPring-8の高輝度かつ高エネルギーの放射光を利用して物質・材料・デバイスの加工・変形・破壊プロセスを超高速かつナノスケールで計測するため、要素技術(X線光学系、検出系等) の開発と新たな手法の開拓を行いながら、統合的な計測システムを構築します。さらに、産学官と幅広く連携しながら、本システムを活用した実解析を推進し、ものづくりの革新に貢献します。
研究主分野
- 工学
研究関連分野
- 総合理工
- 生産工学
- 材料加工
キーワード
- 高速X線撮像
- 加工現象解析
- 機械加工
- 特殊加工
- 工作機械
主要論文
- 1.
G. Yamaguchi, H. Motoyama, S. Owada, Y. Kubota, S. Egawa, T. Kume, Y. Takeo, M. Yabashi, H. Mimura.:
"Copper electroforming replication process for soft x-ray mirrors"
Review of Scientific Instruments, 92, 123106 (2021). - 2.
Y. Takeo, A. Suzuki, H. Motoyama, Y. Takei, T. Kume, Y. Matsuzawa, Y. Senba, H. Kishimoto, H. Ohashi, and H. Mimura.:
"Soft x-ray nanobeam formed by an ellipsoidal mirror"
Applied Physics Letters, 116, 121102 (2020). - 3.
Y. Takeo, H. Motoyama, T. Shimamura, T. Kimura, T. Kume, Y. Matsuzawa, T Saito, Y. Imamura, H. Miyashita, K. Hiraguri, H. Hashizume, Y. Senba, H. Kishimoto, H. Ohashi, and H. Mimura.:
"A highly efficient nanofocusing system for soft x rays"
Appl. Phys. Lett. 117, 151104 (2020). - 4.
S. Egawa, S. Owada, H. Motoyama, G. Yamaguchi, Y. Matsuzawa, T. Kume, Y. Kubota, K. Tono, M. Yabashi, H. Ohashi, and H. Mimura.:
"Full-field microscope with twin Wolter mirrors for soft X-ray free-electron lasers"
Opt. Express 27(23), 33889-33897 (2019). - 5.H. Motoyama, S. Owada, G. Yamaguchi, T. Kume, S. Egawa, K. Tono, Y. Inubushi, T. Koyama, M. Yabashi, H. Ohashi, and H. Mimura.:
"Intense sub-micron focusing of soft x-ray free-electron laser beyond 10^16 W/cm^2 with an ellipsoidal mirror"
J. Synchrotron Radiat., 26, 1406-1411 (2019). - 6.
H. Mimura, Y. Takei, T. Kume, Y. Takeo, H. Motoyama, S. Egawa, Y. Matsuzawa, G. Yamaguchi, Y. Senba, H. Kishimoto, H. Ohashi.:
"Fabrication of a precise ellipsoidal mirror for soft X-ray nanofocusing"
Review of Scientific Instruments, 89, 093104 (2018). - 7.
H. Mimura, H. Yumoto, S. Matsuyama, T. Koyama, K. Tono, Y. Inubushi, T. Togashi, T. Sato, J. Kim, R. Fukui, Y. Sano, M. Yabashi, H. Ohashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi.:
"Generation of 1020 Wcm-2 hard X-ray laser pulses with two stage reflective focusing system"
Nature communications 5 3539, doi:10.1038/ncomms4539 (2014). - 8.
H. Mimura, S. Handa, T. Kimura, H. Yumoto, D. Yamakawa, H. Yokoyama, S. Matsuyama, K. Inagaki, K. Yamamura, Y. Sano, K. Tamasaku, Y. Nishino, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi.:
"Breaking the 10nm barrier in hard-X-ray focusing"
Nature Physics, 6 (2), 122-125, (2010). - 9.
H. Mimura, H. Yumoto, S. Matsuyama, Y. Sano, K. Yamamura, Y. Mori, M. Yabashi, Y. Nishino, K. Tamasaku, T. Ishikawa, K. Yamauchi.:
"Efficient focusing of hard x rays to 25 nm by a total reflection mirror"
Applied Physics Letters, 90, 051903-1-3, (2007). - 10.
H. Mimura, K. Yamauchi, K. Yamamura, A. Kubota, S. Matsuyama, Y. Sano, K. Ueno, K. Endo, Y. Nishino, K. Tamasaku, M. Yabashi, T. Ishikawa.:
"Image quality improvement in a hard X-ray projection microscope using total reflection mirror optics"
Journal of Synchrotron Radiation, 11, 343-346 (2004).
関連リンク
メンバーリスト
主宰者
- 三村 秀和
- チームリーダー
お問い合わせ先
〒679-5148 兵庫県佐用郡佐用町光都1-1-1
Email: hidekazu.mimura [at] riken.jp
※[at]は@に置き換えてください。