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光量子工学研究センター先端レーザー加工研究チーム

チームリーダー杉岡幸次（D.Eng.）

英語ページ

研究概要

今日、レーザーは材料加工や材料創製分野においてなくてはならないツールであり、世の中で幅広く利用されています。当研究ユニットは、中国科学院上海光学精密機械研究所との連携により、環境負荷が少なく、高品質・高効率の材料加工を実現する先端的なレーザープロセッシング技術の研究・開発を行うことを目指しています。特にピーク強度がきわめて高い超短パルス光を発生するフェムト秒レーザーやピコ秒レーザーを用いることにより、従来の手法では不可能であった材料加工を試みています。これにより3次元マイクロ・ナノ加工技術や高アスペクト比加工技術、新物質創製技術を開発し、バイオチップ、高機能光・電子デバイス等の作製への展開を図っています。

研究主分野

工学

研究関連分野

複合領域
総合理工

キーワード

レーザー加工
マイクロ・ナノ加工
3次元加工
バイオチップ

主要論文

1.Xu J., Kawano H., Liu W., Hanada Y., Lu P., Miyawaki A., Midorikawa K., and Sugioka K.:
"Controllable alignment of elongated microorganisms in a 3D microspace using electrofluidic devices manufactured by hybrid femtosecond laser microfabrication"
Microsystems Nanoengin. 3,16078 (2017).
2.He F., Yu J., Tan Y., Chu W., Zhou C., Cheng Y., and Sugioka K.:
"Tailoring femtosecond 1.5-μm Bessel beams for manufacturing high-aspect-ratio through-silicon vias"
Sci. Rep. 7, 40785 (2017).
3.Sugioka K.:
"Progress in ultrafast laser processing and future prospects"
Nanophotonics 5, 17-37 (2016).
4.Wu, D., Xu, J., Niu, L., Wu, S., Midorikawa, K,. and Sugioka, K.:
"In-channel integration of designable microoptical devices using flat scaffold-supported femtosecond-laser microfabrication for coupling-free optofluidic cell counting"
Light Sci. Appl. 4, e228 (2015).
5.Wu, D., Wu, S., Xu, J., Niu, L., Midorikawa, K., and Sugioka, K.:
"Hybrid femtosecond laser microfabrication to achieve true 3D glass/polymer composite biochips with multiscale features and high performance: the concept of ship-in-a-bottle biochip"
Laser Photon. Rev. 8, 458-467 (2014).
6.Sugioka, K., and Cheng, Y.,
"Ultrafast lasers - reliable tools for advanced materials processing"
Light Sci. Appl. 3, e149 (2014).
7.Sugioka K., and Cheng, Y.,
"Femtosecond laser three-dimensional micro- and nanofabrication"
Appl. Phys. Rev. 1, 041303 (2014).
8.Xu, J., Wu, D., Hanada, Y., Chen, C., Wu, S., Cheng, Y., Sugioka, K., and Midorikawa, K.:
"Electrofluidics fabricated by space-selective metallization in glass microfluidic structures using femtosecond laser direct writing"
Lab Chip 13, 4608 (2013).
9.Sugioka, K. and Cheng, Y.:
"Femtosecond laser processing for optofluidic fabrication"
Lab Chip 12, 3576 (2012).
10.Sugioka, K., Hanada, Y., and Midorikawa, K.:
"Three-dimensional femtosecond laser micromachining of photosensitive glass for biomicrochips"
Laser Photon. Rev. 3, 386 (2010).